作者戴笠
2024年9月6日，零部件本土化新质生产力研讨会暨协同创新战略合作签约仪式在上海浦东成功举办，万业企业旗下上海凯世通半导体股份有限公司（以下简称凯世通）与瑟米肯（上海）半导体科技有限公司（以下简称瑟米肯）等多家国内集成电路零部件企业签署战略合作协议，对半导体产业新质生产力走出了新的范式。
过去的几十年里，半导体产业属于投入大、产出慢、周期长、卡点多的产业，随着美国出口管制尤其是2022年10月7日新一轮管制以来，半导体制造环节中的很多设备都被卡脖子，例如光刻、离子注入、刻蚀、镀膜设备。卡脖子之处需要突破的点多、攻克难度大，其中电子吸盘、射频电源、PFG/TPFG等关键零部件，也成为制约整个半导体产业健康持续、自主可控发展关键瓶颈。
万业企业总裁兼旗下凯世通董事长李勇军博士表示，凯世通在离子注入领域早已布局，目前已基本实现国产离子注入机供应链自主可控。在上下游产业链的紧密协作下，凯世通多个关键零部件项目已开花结果。同时经过系列科技攻关与研发创新，凯世通产品测试性能表现优异，维护成本低，并已交付给客户进行产线验证。
元禾璞华董事总经理陈瑜表示，元禾璞华10年时间投资了200多家半导体、硬科技相关企业，覆盖半导体产业链上下游的设计、制造、封测、设备、零部件和材料企业，其中40多家已经IPO。凯世通和瑟米肯都是元禾璞华的被投企业，今年在产品研发和客户导入上均取得了很大的进展。凯世通作为半导体晶圆制造前道非常关键的离子注入机设备“链主”企业，一直在带动瑟米肯等国产零部件厂商的项目定位、研发方向和测试验证，解决供应链卡脖子问题。今天“链主”将射频电源、PFG、静电吸盘、陶瓷材料、MFC等关键部件企业聚合在一起，意义重大。陈瑜认为，零部件国产化的意义不仅在于供应链的安全、自主可控、解决卡脖子问题，而且将加速半导体设备的自主创新，从而为客户提供更优质的产品及解决方案，为半导体产业协同升级、自主可控提供了一个新的范式。
瑟米肯董事长党军锋表示，像射频电源这样的关键零部件卡脖子，主要有三个方面的原因：一是学科交叉、材料缺乏；二是能不能解构专业门类，将人才有效组织在一起；三是能不能有真正的测试环境，真正的工艺验证，否则就是纸上谈兵。过去，瑟米肯能够连续获得头部FAB认可、取得Vendor
code、成功实现供货、成功通过全部工艺验证，主要是得到了凯世通这个链主的支持，对产品需求信息、工艺参数要求、束流控制精度、相位锁相精度等有了精准的了解，再通过不断的测试、验证、调整、迭代，才有了国产射频电源的聚合、淬炼和创新！今天的研讨会和战略协同签约活动，是进一步将链主+关键部件模式向更多同行推广，相信后续会有更多的企业来学习、借鉴这样的模式。这对国产关键部件厂商提升研发实力、进行升级迭代、满足工艺要求，是一件大喜事！对整个半导体产业也将带来深远影响！
面向未来，相信此次战略合作的签约项目，包括微波等射频电源、离子体喷枪、静电吸盘材料、真空自动化机器人、超高能射频加速器、高精度气体流量计等多款关键零部件，能够在链主凯世通的带领下，为客户提供性能更优、成本更低、自主可控的产品与服务解决方案，能够为国产半导体带来“芯”动力，填补“芯”空白。
